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1700℃ CVD系統
該常規型CVD設備是由1700℃管式爐、三路質量流量計和真空泵系統組成,用戶可以選配不同型號的爐子和氣路系統搭配不同的化學氣相沉積系統。
1700℃單溫區真空管式爐
型號:
T1760A
用途:
物理/化學氣象沉積(CVD/PVD)以及真空/氣氛保護燒結、納米材料制備。
規格:
單溫區 管徑大小為Φ60*1000mm
特點:
控溫精準/ 可預存1條曲線/ 法蘭設有測溫孔
1700℃雙溫區真空管式爐
型號:
T1760B
產品概述:
T1760B是一款雙溫區管式爐,剛玉管外徑60mm,加熱元件為硅鉬棒,加熱區分為兩個溫區可同時燒結兩種材料,也可以作為加長單溫區管式爐使用,控溫精度±1℃,控溫方式采用30段控溫,最高溫度可達1700℃。
1700℃小型管式爐
型號:
T1750S
用途:
1700℃以下真空或氣氛狀態下燒結
特點:
體積小,價格低,操作簡便
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